마이크로 노즐을 갖춘 폴리이미드 및 포토레지스트 초음파 스프레이 코팅 시스템

품목 번호: FS650
주파수: 선택사항인 경우 20-200khz
전력: 10-100w
스프레이 균일성: 95% 이상
솔루션 전환율: 95% 이상
용액 점도: 30cps 이하
원자화된 입자(중앙값): 10-45μm(증류수),
노즐 주파수에 따라 결정됨

설명:

초음파 분무 시스템은 균일하고 반복 가능한 포토레지스트 또는 폴리이미드 필름 코팅이 필요한 다양한 응용 분야에 적합한 것으로 입증되었으며 간단하고 경제적이며 재현 가능한 포토레지스트 및 폴리이미드 코팅 공정입니다.
폴리이미드 및 포토레지스트 초음파 코팅의 일반적인 응용 분야에는 MEMS, 렌즈, 미세유체 장치, 마이크로 전자공학 및 필터가 포함되지만 이에 국한되지는 않습니다. 코팅 시스템은 일반적으로 실리콘 칩, 유리, 세라믹 및 금속을 포함한 평면 및 3D 기판을 코팅할 수 있습니다.

매개변수:

650

초음파 노즐의 구조와 원리 :

초음파 노즐은 특정 주파수 공진을 기반으로 한 튜닝 장치입니다. 최대 길이와 직경은 공진 주파수에 반비례하며 주파수 범위는 25~120kHz입니다. 즉, 초음파 주파수가 높을수록 변환기가 작아지고 노즐 분무에 의해 생성되는 중간 액적 크기도 감소합니다.

초음파 노즐은 여러 부분으로 구성됩니다. 구동 구성 요소에는 전기 에너지를 기계적 동작으로 변환하는 한 쌍의 압전 변환기가 포함되어 있습니다. 고주파 전원 공급 장치는 노즐의 공진 주파수를 고정할 수 있는 별도의 발생기에서 나옵니다. 변환기는 두 개의 티타늄 실린더 사이에 위치하며 변환기의 진동 운동을 증폭시켜 분무 표면에 미치는 영향을 최대화합니다. 티타늄은 인장 강도가 높고 음향 특성이 좋으며 내식성이 우수하기 때문에 티타늄을 재료로 선택했습니다.

액체는 노즐의 전체 길이를 따라 큰 직경의 채널을 통해 분무 표면으로 이송됩니다. 액체가 원자화 표면에 도달하면 낮은 속도(3인치/초 미만)로 움직이는 작은 물방울로 분해되는 높은 진폭의 진동을 만나게 됩니다. 이 효과를 얻으려면 애플리케이션의 성능을 상대적으로 좁은 범위 내에서 유지해야 합니다. 출력이 너무 낮으면 노즐 작동이 중지됩니다. 즉, 원자화가 발생하지 않습니다. 출력이 너무 높으면 액체가 큰 조각으로 찢어져 분무 스프레이에 적합하지 않습니다. 일반적으로 노즐의 작동 전력은 분사되는 액체의 특정 디자인과 특성에 따라 1와트에서 15와트 사이로 다양합니다.