반도체 및 포토레지스트 응용 분야용 초음파 스프레이 코팅 기계

반도체 제조에서 포토레지스트, 폴리이미드 및 기타 기능성 박막을 적용하려면 절대적인 정밀도가 필요합니다. 필름 두께의 미세한 차이조차도 치명적인 구성 요소 오류로 이어질 수 있습니다. 고급 활용초음파 스프레이 코팅기 이를 통해 반도체 제조업체는 기존 스핀 코팅이 효과적으로 덮을 수 없는 깊은 트렌치와 높은{1}}종횡비-미세 구조를 포함하여 복잡한 지형에 매우 균일한 박막 코팅을 달성할 수 있습니다.

스핀코팅의 한계를 극복하다

스핀 코팅은 업계 표준 공정이지만 본질적으로 비평면 기판, 정사각형 기판 또는 깊은 공동이 있는 웨이퍼에서는 어려움을 겪으며 가장자리 비드가 고르지 않거나 빈 포켓이 생기는 경우가 많습니다. 초음파 노즐 스프레이 성형 기계는 고도로 제어되고 원자화된 미스트를 대상 영역에 직접 전달하여 이 문제를 해결합니다. 부드러운 저속-스프레이를 통해 액체가 공기 주머니를 남기거나 재료 고임 현상을 일으키지 않고 미세{4}}홈 내부에 고르게 정착될 수 있습니다.

높은 신뢰성의-클린룸 환경을 위해 설계됨

반도체 생산에는 엄격한 클린룸 조건에서 안정적으로 작동하는 장비가 필요합니다.펀소닉자동화된 웨이퍼 처리 라인에 완벽하게 통합되는 상업용{0}}등급 초음파 장비를 설계 및 제조합니다. 우리 시스템은 화학적 오염을 방지하고 긴 생산 주기 동안 일관된 유체 역학을 보장하기 위해 고순도-재료를 사용하여 제작되었습니다.

펀소닉클린룸 공간, 액체 점도 요구 사항 및 목표 처리량에 맞는 표준 모델은 물론 맞춤형 구성도 제공합니다. 웨이퍼 수율을 극대화하고 값비싼 화학물질 소비를 줄일 수 있도록 도와드리겠습니다.

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