진공 증기 증착을위한 초음파 분무 기술

초음파 분무 분무 시스템은 진공 챔버에 통합하는 데 사용됩니다. 실험을 통해, 고유 한 초음파 분무 분무 시스템 설계는 중합체 증기 증착 (PVD) 및 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD)과 같은 응용에 적합한 진공 밀봉 플랫폼에 통합 될 수 있음이 입증되었다. 초음파 분무 분무 시스템에 의해 생성 된 특징적인 저속 분무는 단단한 액적 분포 및 주파수 제어식 액적 크기를 갖는 증기 ​​구름을 생성 할 수있다. 초음파 분무 노즐이 고주파 음파를 기계적 진동으로 변환하여 작동한다는 사실 때문에, 노즐 표면과의 접촉하는 액체는 공기 또는 가스를 첨가하지 않고 분무되므로 스프레이 공정 동안 진공 챔버의 무결성이 약화되지 않습니다.

초음파 분무 스프레이 시스템에 통합 된 초음파 발전기 기술은 분무기에 필요한 전기 에너지를 제공하고 고급로드 밸런싱 기능이 장착되어 있으며, 이는 상이한 진공 조건에 자동으로 적응할 수 있으므로 진공 증착 공정 동안 가장 안정적인 스프레이 특성을 유지할 수 있습니다.

초음파 분무 분무 시스템은 고온 진공 환경에 적합하며 냉각 용량 및 온도 모니터링 기능이 적절한 열 보호를 보장합니다.

진공 챔버 적용의 장점 :

• 로드 밸런싱을 위해 설계된 전자 장치
• 고온 보호 및 모니터링
• 독특한 진공 상태 액체 흐름 제한 설계
• 공기/가스가 없을 때 분무가 생성되어 진공 완전성 유지