실리콘 웨이퍼 절단 전에 초음파 스프레이 보호 필름 코팅 시스템은 웨이퍼와 범프를 보호하기 위해 절단, 연삭 및 연마하기 전에 실리콘에 다양한 화학 물질을 적용하기위한 신뢰할 수 있고 반복적이며 효율적인 방법으로 입증되었습니다. 일반적인 화학 물질에는 Z-Coat, PMMA 및 기타 쉽게 탈착식 화학 물질이 포함됩니다. Funsonic의 노즐 시스템은 고객의 특정 코팅 요구 사항과 보호 필름 절단에 대한 과제를 충족하도록 사용자 정의 할 수 있습니다.
초음파 분무 시스템은 균일하고 반복 가능한 재료 코팅이 필요한 다양한 응용 분야에 적합한 것으로 입증되었습니다. 서브 미크론에서 100 미크론으로 두께를 제어하고 모든 형태 또는 크기를 코팅 할 수있게함으로써 코팅 시스템은 로타리 및 전통적인 스프레이와 같은 다른 코팅 기술에 대한 실행 가능한 대안입니다.
Funsonic의 코팅 시스템은 간단한 레이어링 기술을 사용하여 유속, 코팅 속도 및 증착량을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 저속 스프레이 몰딩은 원자화 스프레이를 오버 스프레이를 피하고 매우 얇고 균일 한 층을 생성하기 위해 정확하고 제어 가능한 패턴으로 정의합니다.
보호 웨이퍼 코팅 공정에 초음파 코팅 기술을 사용하는 장점은 다음과 같습니다.
1. 다양한 표면 윤곽의 신속하고 균일 한 필름 커버리지.
2. 화학 및 코팅 특성의 높은 유연성.
3. 막힘 분무 스프레이.
4. 최소 폐기물로 높은 전송 효율.
5. 재현 가능한 성숙한 스프레이 공정.