균일 한 박막 인듐 주석 산화물 (ITO), 알루미늄 도핑 아연 산화 아연 (AZO), 산화 아연 (ZNO) 및 불소 도핑 산화물 층은 일반적으로 초음파 스프레이 열분해 기술에 의해 생성된다. 이 고유 한 공정에는 필요한 코팅 두께와 모양을 생성하고 고온 환경에서 부식 솔루션을 분사하기 위해 특수 코팅 장비가 필요합니다.
고온 초음파 스프레이 열분해 동안, 전구체 용액 (예 : 알루미늄 산화물)을 약 300-500 정도로 가열 된 기판에 분산시킨다. 용매는 수송 동안 증발하고, ZnO 결정 필름은 기질 표면, 일반적으로 나트륨 칼슘 또는 다른 유리에서 자랍니다. 기질 온도는 일반적으로 필름의 형태 학적 특성을 결정합니다.
초음파 스프레이 습식 증착은 제조업체에게 진공 증착 및 스퍼터링에 대한 비용 효율적인 대안을 제공하며 더 높은 전달 효율을 제공합니다. 초음파 분무 노즐에 의해 생성 된 액적 크기는 매우 균일하며, 이는 열분해 반응을위한 최적의 액 적의 크기를 달성 할 수 있으며, 모든 액 적은 증착 과정에서 동시에 동시에 반응 할 것이다. 연구 개발이든 대량 생산이든, 이는 효율적인 TCO 생산 공정을 제공 할 것입니다.
Funsonic 초음파 노즐의 사용은 고 부식성 산을 분무하는 공정 문제를 극복합니다. 노즐은 부식 방지 구조 재료로 만들어지며 막힘, 반복성 및 장수가없는 특성이 있습니다. 고 부식성 염산 또는 히드로 플루오르 산 용액을 분사 할 수도 있습니다.
TCO 코팅을위한 초음파 스프레이 열분해 시스템의 장점 :
1. CVD (화학 증기 증착) 공정과 비교하여 초음파 스프레이 열분해는 간단하고 유연하며 비용 효율적입니다.
2. 입증 된 TCO 코팅 전문 지식.
다른 스프레이 방법과 비교하여 초음파 노즐은보다 균일 한 층을 증착 할 수 있습니다.
4. 조정하기 쉽고 반복 가능한 코팅 매개 변수.
5. 완전한 코팅 솔루션을 제공하는 완전히 통합 된 특허 초음파 노즐 기술 및 액체 전달.
대체 저온 스프레이 열분해 (250도 이하) 공정은 지속적으로 떠오르고 있으며, 고온 표적 기질이 필요하지 않은 화학 물질에 대해 더 많은 연구 개발이 수행되었습니다.
