나노기술 반도체 공정 초음파 포토레지스트 스프레이 기술

나노기술 반도체 공정 초음파 포토레지스트 분사 기술은 포토레지스트 매질의 고주파 기계적 진동을 통해 포토레지스트 방울을 생성한 다음 이를 캐리어 가스를 통해 기판으로 운반합니다.
포토리소그래피 기술 노하우에서 재현 가능하고 신뢰할 수 있으며 적용 가능한 결과를 보장하기 위한 핵심 요구 사항은{0}}기판 바닥을 포토레지스트로 균일하게 코팅하는 것입니다. 포토레지스트는 일반적으로 용매나 수성 옵션에 분산되어 있으며 점도가 과도한 물질입니다. 공정 요구 사항에 따라 일반적으로 포토레지스트 코팅 방법으로 초음파 분사가 선택됩니다.

1. 고르지 못한 분사

이유:

노즐이 막혔거나 마모되었습니다.

초음파 주파수가 불안정합니다.

이제 스프레이 천의 점도가 적합하지 않습니다.

분해물:

노즐을 청소하거나 교체하십시오.

초음파 발생기를 교정합니다.

재료의 점도를 조정합니다.

2. 스프레이 입자가 너무 크거나 너무 작습니다.

이유:

초음파 매개변수의 부적절한 배치.

노즐 그래프는 더 이상 최첨단 소재에 적합하지 않습니다.-

분해물:

초음파 주파수와 전력을 조정합니다.

훌륭한 노즐을 교체하십시오.

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