초음파 분무 시스템은 균일하고 반복 가능한 포토 레지스트 또는 폴리이 미드 필름 코팅이 필요한 다양한 응용 분야에 적합한 것으로 입증되었습니다. 서브 미크론에서 100 미크론으로 두께를 제어하고 모든 형태 또는 크기를 코팅 할 수있게함으로써 코팅 시스템은 로타리 및 전통적인 스프레이와 같은 다른 코팅 기술에 대한 실행 가능한 대안입니다.
폴리이 미드 및 포토 레지스트 코팅의 일반적인 응용은 MEM, 렌즈, 미세 유체 장치, 미세 전자 공학 및 필터를 포함하되 이에 국한되지 않습니다. 코팅 시스템은 일반적으로 실리콘 칩, 유리, 세라믹 및 금속을 포함하여 평평하고 3D 기판을 코팅 할 수 있습니다.
초음파 스프레이는 포토 레지스트 및 폴리이 미드 코팅을위한 단순하고 경제적이며 재현 가능한 공정입니다. 초음파 코팅 시스템은 간단한 레이어링 기술을 사용하여 유속, 코팅 속도 및 증착량을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 저속 스프레이 몰딩은 원자화 스프레이를 오버 스프레이를 피하고 매우 얇고 균일 한 층을 생성하기 위해 정확하고 제어 가능한 패턴으로 정의합니다.
초음파 폴리이 미드 및 포토 레지스트 코팅의 장점 :
1. 다양한 표면 윤곽의 균일 한 필름 커버리지.
2. 화학 및 코팅 특성의 높은 유연성.
3. 막힘이없는 분무 스프레이.
4. 최소 폐기물로 높은 전송 효율.
5. 재현 가능한 성숙한 스프레이 공정.
초음파 스프레이 시스템은 고주파 사운드 진동을 사용하여 수학적으로 정의 된 액 적으로 구성된 부드러운 안개를 생성합니다. 스프레이를 생성하는 데 압력이 사용되지 않기 때문에 막힘이 제거되고, 액 적은 드롭 렛 분포 크기가 매우 좁으며, 이는 증착 층의 균일 성에 추가로 기여합니다.
